典型应用场景
ESD-2000半导体器件抗静电能力测试系统针对半导体器件、IC集成电路等产品对静电敏感等级测试及判定要求而专门设计的自动分析测试系统。该系统兼具静电放电试验及正反向电压、漏电流、I-V曲线测试等功能，可实现芯片静电敏感等级的自动判定。
主要特点
1.自动生成IV曲线对比图谱：软件叠加应力前、后两条IV曲线，可视化识别曲线偏移、拐点退化、漏电抬升等隐性损伤特征
2.微小漏电高精度分辨：SMU电流测量精度达nA级，可捕捉传统万用表、简易电阻仪无法检出的纳安级漏电增量，识别栅氧微损伤、PN结暗损伤
3.分级电压损伤测源：程控升压逐次放电，每一档电压均同步采集IV曲线，定位器件开始出现电性退化的临界ESD电压，量化损伤程度
4.智能化芯片建档管理：通过档案管理功能可以快速调取测试程序、回湖历史记录
主要技术指标
| 项目 Items | ESD-2000 | ||
| 放电模式 Discharge Modes | IEC模式 IEC Mode | HBM 人体放电模式 HBM Mode | MM 机器放电模式 MM Mode |
| 放电模型 Discharge Types | 接触放电、空气放电 Contact Discharge, Air Discharge | ||
| 最大输出电压 Max. Output Voltage | ±20kV/30kV | ±8kV/20kV/30kV | ±800V/4kV |
| 极性 Polarity | 正、负 Positive, Negative | ||
| 放电电容/电阻 Discharge Capacitance / Resistance | 150pF/330Ω | 100pF/1500Ω | 200pF/0Ω |
| 放电间隔 Discharge Interval | 0.050s~30.0s （接触放电 Contact Discharge） 1.0s~30.0s （空气放电 Air Discharge） | 0.1s~30s 可调（Adjustable） | |
| 放电方式 Discharge Operation Modes | 手动：按一下放电模块的触发按钮或者放电枪的枪机，进行一次放电 Manual: Trigger single discharge by pressing the trigger button on the discharge module or the gun trigger of the discharge gun. 自动：按照设定的放电间隔连续放电 Automatic: Continuous discharge at the preset discharge interval. Discharge Count | ||
| 放电计数 Discharge Count | 1~9999（放电间隔大于等于0.1秒时计数范围 when discharge interval ≥ 0.1 s） 1~100（放电间隔小于0.1秒时计数范围 when discharge interval < 0.1 s） | ||
| 通讯接口 Communication Interface | RJ45 | ||
远方视频号
